세계 최초 EUV용 MOR 생산거점 구축…충북 반도체 소부장 경쟁력 강화

▲ JSR마이크로코리아㈜, 충북 오창에 차세대 반도체 소재 생산공장 준공

충북도는 9월 30일 11시 청주 오창 외국인투자지역에서 일본계 외국인투자기업인 JSR마이크로코리아㈜의 차세대 반도체 소재 생산공장 준공식이 열렸다고 밝혔다.

이날 준공식에는 신용한 충청북도지사, 신병대 청주시 부시장, 호리 테츠로 JSR㈜ 대표 및 이이지마 타카히로 JSR마이크로코리아㈜ 대표 등 주요 관계자들이 참석한 가운데 축하공연, 기념사, 축사, 기념 퍼포먼스 등의 순서로 진행됐다.

JSR마이크로코리아㈜는 2003년 오창에 설립된 일본 JSR㈜의 한국법인으로, 디스플레이 소재 분야에서 사업을 이어오고 있으며, 이번 공장 신설을 통해 반도체 차세대 EUV용 포토레지스트인 MOR의 국내 생산 체계를 구축하게 됐다.

MOR은 EUV(극자외선) 노광공정에서 웨이퍼에 미세한 회로 패턴을 형성하는 데 사용되는 차세대 포토레지스트 소재​로, 기존 소재 대비 높은 EUV 흡수 특성 등을 바탕으로 반도체 초미세화에 대응하기 위한 핵심 소재로 주목받고 있다.

특히 이번 공장은 JSR㈜이 세계 최초로 구축하는 EUV용 MOR 생산거점으로, JSR㈜은 2021년 미국 Inpria사를 인수한 이후 MOR의 사업화를 추진해 왔으며, 오창 공장에서는 MOR의 최종 생산공정을 수행할 예정이다.

JSR㈜은 이번 생산거점 구축을 통해 국내 주요 고객사의 수요에 신속하게 대응하고, 현지 생산 및 품질보증 역량을 강화한다는 계획이다. 또한 국내 반도체 산업의 핵심 소재 공급 안정화에도 기여할 것으로 기대된다.

신용한 지사는 “세계적인 반도체 소재기업 JSR㈜의 차세대 EUV용 MOR 생산공장이 오창에 준공된 것은 충북이 글로벌 반도체 소재 공급망의 전략 거점으로 자리매김하는 또 하나의 이정표”라며 “충북과 함께해 온 JSR마이크로코리아㈜가 이곳을 기반으로 세계적인 반도체 소재기업으로 더욱 성장하고, 대한민국 반도체 산업의 새로운 미래를 밝혀 나가기를 기대한다”고 말했다.

한편, 충북은 SK하이닉스 등 반도체 제조기업과 소재·부품·장비 기업이 집적된 국내 대표 반도체 산업 거점으로, 이번 JSR마이크로코리아㈜의 차세대 반도체 소재 생산공장 준공을 통하여 반도체 초미세공정 핵심소재의 공급망 경쟁력을 더욱 강화할 수 있을 것으로 기대된다.

JSR마이크로코리아㈜의 모기업인 JSR㈜은 1957년 설립된 일본의 글로벌 소재기업으로, 반도체·디스플레이 소재 등을 개발·제조하고 있으며 특히 포토레지스트 분야에서 세계적인 경쟁력을 보유하고 있다.

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